Nanoelektronische Anwendungen sind allgegenwärtig und von großer wirtschaftlicher Bedeutung. Die zunehmende Miniaturisierung und Leistungssteigerung stellt die Wissenschaft vor Herausforderungen, bietet aber auch faszinierende Möglichkeiten.
Produkte, die auf Nanoelektronik basieren, sind in unserem Leben unverzichtbar – ob in medizinischen Geräten oder in der Unterhaltungselektronik. Nanoelektronik ist Schlüsseltechnologie und Innovationsmotor für bedeutende Industrien wie Kommunikationstechnik und Maschinenbau. Der Bayerische Forschungsverbund für Nanoelektronik (FORNEL) hat mit Partner-Universitäten aus Erlangen, München und Würzburg sowie zehn Industriefirmen entscheidende Beiträge zur Überwindung technologischer Hürden und Erschließung neuer Funktionalitäten geleistet.
Der Themenbereich „Nanostrukturen“ beschäftigte sich zum einen mit der kontrollierten atomaren Abscheidung dünnster Schichten unter Entwicklung innovativer Prozesse und Geräte. Zudem wurden bei niedrigen Temperaturen ablaufende laseraktivierte Reinigungs- und Abscheideprozesse aus der Gasphase verwirklicht, die für die Herstellung zukünftiger Bauelementegenerationen benötigt werden. Mit der UV-Nanoimprint-Lithographie wurde ein alternatives, kostengünstiges Verfahren zur lateralen Strukturierung deutlich optimiert.
Im Themenbereich „Nanobauelemente und -schaltungen“ entwickelte und untersuchte Transistoren bieten schnellere Schaltzeiten oder erweiterte Möglichkeiten für Analogschaltungen, z.B. unter Ausnutzung von ballistischem Ladungstransport oder des quantenmechanischen Tunneleffekts. Mit neuartigen ballistischen Y-Nanotransistoren konnten erfolgreich grundlegende Schaltungen realisiert werden. Unterstützt wurde die Entwicklung der Bauelemente durch den Querschnittsbereich „Modellierung und Simulation“. Weitere Informationen finden Sie hier.
