GOBs aus Glas sind häufig verwendete Halbzeuge für Heißformgebungen. Diese werden erzeugt, indem eine definierte Menge flüssigen Glases aus der Schmelzwanne abgetrennt und in einer Form abgekühlt wird. Qualitativ hochwertige Glaswafer hingegen werden aktuell mit zwei komplexen Methoden hergestellt.
Die Motivation besteht in der möglichen Reduzierung des aktuell zeit- und arbeitsintensiven Aufwandes für die Herstellung solcher Glaswafer insbesondere für die Halbleiterindustrie. Im Projekt „GlaGOB“ wurde erforscht, ob man Glaswafer mittels direkter Warmformgebung aus Glas-GOBs herstellen kann. Die besondere Herausforderung bestand in dem enormen Umformgrad des Glases: vom GOB mit einem Durchmesser 36 mm und einer Dicke von 7 mm und mehr zum Wafer mit einem Durchmesser 100 mm und einer Dicke von 1 mm.
![TRITAN®-GOB vs. TRITAN®-Glaswafer [Quelle: Technische Hochschule Deggendorf, Technologieanwenderzentrum Spiegelau]](https://www.forschungsstiftung.bayern.de/wp-content/uploads/1174_01.jpg)
Ein Versuchsprogramm wurde entwickelt und auf einer Präzisionsblankpresse durchgeführt. Die Presskammer ermöglicht, Presswerkzeuge anwendungsorientiert bis zu einem Durchmesser von 140 mm aufzunehmen. Die Bewegungsabläufe sind computergesteuert und arbeiten wahlweise im positions- oder kraftgesteuerten Modus. Mit dieser Anlage lassen sich Presszyklen mit Presskräften von bis zu 25 kN und isotherm bis zu 800 °C inert realisieren.
Im Projekt wurde nachgewiesen, dass sich Glaswafer mittels Präzisionsblankpressen aus GOBs herstellen lassen. Die bisher unumgänglichen und aufwendigen Trenn- und Polierverfahren sind nicht mehr notwendig.
Im Unterschied zu den bisher etablierten Verfahren ist es jetzt möglich, unterschiedliche Glaszusammensetzungen zu Wafern zu pressen. Die für den Wechsel der Glassorte benötigte Zeit ist kurz. Dies ist ein zusätzlicher Vorteil für kleine Losgrößen.
